洁净室气体系统管道材质及附件应按设计要求选配，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并符合下列规定：
1、应使用无缝管材。
2、管材内表面吸附、解吸气体的作用小。
3、管材内表面应光滑、耐磨损。
4、应具有良好的搞腐zhu性能。
5、管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。
6、负压管道不宜采用普通碳钢管。
